Les techniques de micro et nanofabrication en microélectronique font largement appel à la lithographie. Cette technique nécessite des résines photo- ou électro-inscriptibles permettant le transfert de motifs sur un substrat. Ces résines issues de l’industrie des polymères synthétiques requièrent l’emploi de solvants organiques. Pour des raisons économiques, réglementaires et écologiques, les acteurs du domaine soulignent leurs volontés d’accentuer le développement de procédés plus éco-efficients et moins toxiques. De plus, les projections sur la raréfaction du pétrole imposent d’explorer des matériaux alternatifs intégrant les concepts de la chimie verte.
Dans ce contexte, le projet Horizon Europe « Resin Green » a pour objectif de développer des résines de lithographie « verte » à base de polymères biosourcés, en mettant en avant un procédé exempt de produits écotoxiques avec pour seul solvant l’eau. Les polysaccharides sont de bons candidats car ils sont généralement hydrosolubles, biocompatibles et non-toxiques. L’approche choisie privilégiera des polysaccharides connus pour leurs propriétés de filmifications et d’adhésion sur les substrats ce qui est un
prérequis, et la possibilité de les produire sans cations métalliques, ce qui est préférable en micro électronique.
